近日，星空在线平台-星空在线官网所属北方华创集团自主研发的两款MOCVD（金属有机物化学气相沉积）外延设备（型号：Satur N800/Satur V700）顺利通过客户验收，并获得批量重复订单。

据介绍，MOCVD设备是一种利用金属有机化合物进行金属输送的气相外延生长设备，需要在原子尺度上实现复杂材料的纳米精度控制、量子级界面控制，并需具备高真空环境和高精度温控系统，以确保材料的纯度和生长的稳定性。凭借在硅外延设备领域的深厚积累，北方华创积极拓展化合物半导体外延设备研发，形成了GaN（氮化镓）、GaAs（砷化镓）、SiC（碳化硅）等化合物半导体材料外延设备的系列化产品。

其中，GaN MOCVD概念机械——Satur N800提供大占地面积一致高温场、大区域安稳调节器气团场，已经多片式（Batch）大的生产能力和系统智能工业配置单，要能需要满足单质光电电子元器件品质可靠电子元器件对概念层混合物、料厚和掺入一致性的高规范；GaAs MOCVD本质仪器——Satur V700成功的英文推动了气旋场、摄氏度场、副物质掌控等最为关键的科技，要具备高平滑性、大产销量、高收益价等其优势；SiC外延性装备——MARS iCE115/120S，艺接线比较简单，定期检查实操便利性，挂牌上市后得到 专业市场很广被认可。

近年来，经过持续的技术沉淀与创新突破，北方华创实现了硅薄膜外延设备领域4英寸到12英寸全覆盖，产品包括8英寸及以下的单片及多片大产能硅外延设备、12英寸硅外延设备，取得了多项技术创新和产业化成果，累计销售突破千腔，并先后荣获“北京市科学技术进步一等奖”等重量级荣誉。下一步，面向化合物半导体向高集成度、高效能和低能耗发展的趋势，北方华创将以前瞻技术与创新服务为核心，提供全面外延解决方案，助力用户实现技术突破与成本优化，携手产业链伙伴共创产业发展新未来